產品規格
| 項目 | ||||||||||
| DC (1Ch) | DC (2Ch) | |||||||||
| EnerStream 5 | EnerStream 10 | EnerStream 10H | EnerStream 20 | EnerStream 20H | EnerStream 30 | EnerStream 30H | EnerStream 60 | EnerStream 5D | EnerStream 10D | |
| 輸入 | 3⌀ 208 伏特/ 220 伏特/ 380 伏特 | 3⌀ 208 伏特/ 220 伏特/ 380 伏特 | 3⌀ 208 伏特/ 220 伏特/ 380 伏特 | 3⌀ 220V/ 380V | 3⌀ 220V/ 380V | 3⌀ 380V/ 440V | 3Φ⌀ 440V | 3⌀ 440V | 3⌀ 380V | 3⌀ 380V |
| 點火電壓 | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V |
| 輸出 | 800 伏特、6.25 安培 / 400 伏特、12.5 安培 | 800 伏特、12.5 安培 / 400 伏特、25 安培 | 1000 伏特、10 安培 / 500 伏特、20 安培 | 800V、25A/ 400V、50A | 1000 伏特、20 安培 / 500 伏特、40 安培 | 800V, 37.5A / 400V, 75A | 1200 伏特、25 安培 / 545 伏特、55 安培 | 900 伏特、66.6 安培 / 400 伏特、150 安培 | 800 伏特、6.25 安培 / 400 伏特、12.5 安培 | 800 伏特、12.5 安培/ 400 伏特、25 安培 |
| 輸出功率 | 直流 5kW | 直流 10kW | 直流 10kW | 直流 20kW | 直流 20kW | 直流 30kW | 直流 30kW | 直流 60kW | 直流 5kW + 5kW | 直流 10kW + 10kW |
| 電弧能源 | 低於 0.5mJ/kW | 低於 0.2mJ/kW | 低於 0.5mJ/kW | |||||||
| 介面 | RS-232 / RS-485（選配：DeviceNet、ProfiBus） | |||||||||
| 尺寸(mm) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 177(H) x 483(W) x 655(D) | 177(H) x 483(W) x 655(D) | 309(H) x 483(W) x 783(D) | 133(H) x 483(W) x 655(D) | 133(H) x 483(W) x 655(D) |
| 重量（公斤） | 24.5 | 24.5 | 24.5 | 30.5 | 30.5 | 38.8 | 38.8 | 80 | 32 | 32 |
| 冷卻 | 風冷式 | |||||||||
最大化去離子化的脈衝式直流波形
- 優點
重燃電壓變化引起的電流快速增加：700V → 1000V - 可調重燃電壓：50V ~ 300V
產品規格
| 項目 | 反向電壓固定 | 反向電壓可調 | 反向電壓固定 | ||||||||
| EnerPulse 5 | EnerPulse 10 | EnerPulse 10LV | EnerPulse 10M | EnerPulse 20 | EnerPulse 15N | EnerPulse 20N | EnerPulse 30 | 脈衝 20 (ES20 + PG20) | 脈衝 30 (ES30 + PG30) | 脈衝 40 (2 x ES20 + PG40) | |
| 輸入 | 3Φ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏 | 3Φ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏 | 3Φ 380V | 3Φ 380V | 3Φ 220 伏特/ 380 伏特/ 440 伏特 | 3Φ 440V | 3Φ 220V/ 440V | 3Φ 208V/ 440V | 3Φ 220V/ 380V | 3Φ 380V/ 440V | 3Φ 220V/ 380V |
| 點火電壓 | 1500V | 1500V | 1500V | 1500V | 1200V | 1200V | 1200V | 1200V | 1500V | 1500V | 1500V |
| 輸出 | 800 伏特、6.25 安培 / 400 伏特、12.5 安培 | 800 伏特、12.5 安培 / 400 伏特、25 安培 | 650V, 15.4A / 300V, 33.A | 800 伏特、12.5 安培/ 400 伏特、50 安培 | 650 伏特、30 安培 / 400 伏特、50 安培 | 1000 伏特、15 安培 / 500 伏特、40 安培 | 900 伏特、22.2 安培 / 500 伏特、40 安培 | 900 伏特、33.3 安培 / 400 伏特、75 安培 | 800 伏特、25 安培 / 400 伏特、50 安培 | 800V、37.5A/ 400V、75A | 800V、50A/ 400V、100A |
| 輸出功率 | 單極脈衝 5kW | 單極脈衝 10kW | 單極脈衝 10kW | 單極脈衝 10kW | 單極脈衝 20kW | 單極脈衝 15kW | 單極脈衝 20kW | 單極脈衝 30kW | 單極脈衝 20kW | 單極脈衝 30kW | 單極脈衝 40kW |
| 輸出頻率 | 20 ~ 150 kHz | 5 ~ 350 kHz | 20 ~ 100 kHz | 20 ~ 350 kHz | 20 ~ 150 kHz | 40 ~ 100 kHz | 40 ~ 80 kHz | ||||
| 反向時間 | 直流模式，1.0us ~ 10us | 直流模式，1.0us ~ 5us | 直流模式，1.0us ~ 8us | 直流模式，1.0us ~ 5us | |||||||
| 電弧能源 | 低於 1mJ/kW | 低於 0.5mJ/kW | 低於 1mJ/kW | ||||||||
| 介面 | RS-232 / RS-485（選配：DeviceNet、ProfiBus） | ||||||||||
| 尺寸(mm) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D) | 177(H) x 483(W) x 700(D) | 177(H) x 483(W) x 782(D) | 221.25 (高) x 483 (寬) x 700 (深) | 309(H) x 483(W) x 782(D) | 133(H) x 483(W) x 605(D)_PG | 133(H) x 483(W) x 605(D)_PG | 133(H) x 483(W) x 605(D)_PG |
| 重量（公斤） | 29.5 | 29.5 | 29.5 | 29.5 | 40 | 42 | 50 | 73 | 28 | 32 | 32 |
| 冷卻 | 風冷式 | ||||||||||
※ 電纜導管 + 129 公釐
規格如有變更，恕不另行通知
雙磁控管濺射和 PECVD 的雙極脈衝式直流電源供應器
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