電漿源

電弧陰極是 DLC 和電弧離子電鍍系統的關鍵元件。電弧陰極是DLC及電弧離子電鍍系統的關鍵元件，透過最佳化的設計，可提高並最大化靶材利用率及產能。拿騷執行模擬磁場、設計等工作，以提供客戶最佳化的解決方案。