塗層特性

拿騷 PVD 鍍膜及真空鍍膜設備

塗層特性

塗層薄膜特性

電影	厚度 (μm)	摩擦係數	氧化溫度	塗層顏色	微硬度(Hv0.05)
TiN	2~7	0.4	500	金色	2,300
TiCN	2~4	0.25	400	灰色	3,000
AlTiN	2~4	0.6	900	藍-黑	3,300
TiAlN	2~4	0.6	800	紫黑色	3,200
鋁鉻釩	2~7	0.5	900	藍-黑	3,300
鈦鉻鋁	2~4	0.5	850	藍灰色	3,300
鈦鋁	2~4	0.45	1000	紅棕色	3,500
TiSiN	2~4	0.55	800	灰色	3,000

電影結構

TiAlN 薄膜

硬度 hk 0.025

	第 1 頁	第 2 頁	3st
資料1	3289	3172	3172
資料2	3289	3172	3172
資料3	3172	3289	3172
平均值	3250	3211	3172
M3(HK)	3211

刮傷測試，70N

TiAlSiN 薄膜

硬度 hk 0.025

	第 1 頁	第 2 頁	3st
資料1	3550	3543	3689
資料2	3550	3550	3689
資料3	3550	3689	3550
平均值	3585	3594	3642
M3(HK)	3595

AlCrN 薄膜

厚度 2.43um

壓痕 150KG

硬度 hk 0.025

	第 1 頁	第 2 頁	3st
資料1	3386	3245	3386
資料2	3386	3118	3251
資料3	3536	3124	3386
平均值	3436	3162	3341
M3(HK)	3313

PVD 鍍膜硬度測試 03