PVD 目標

拿騷 PVD 鍍膜及真空鍍膜設備

組件與零件

PVD 目標

圓柱 & 平面 & 圓形

拿騷提供的PVD Target，應用於玻璃、顯示器、裝飾、工具、光學、太陽能、建築及汽車等一般工業鍍膜，並提供Bonding及Backing Plate服務。可製造一般金屬、合金、氧化膜靶材，以及大尺寸平面、圓柱、圓形靶材。

應用程式

建築和汽車玻璃
顯示器與一般工業
裝飾與工具
光學與太陽能光電

特點

可生產各種類型的靶件，如平面、圓柱、圓形等
可生產含 Cr、TiAl、Ti、Zr、Ni、SS、W 等特殊合金靶材
可用於生產 AZO、NbOx 等靶材
可用於生產高純度的靶材[ 99.999% ]。

建築和汽車玻璃

SiAl、TiOx、Sn、ZnSn、ZnSnSb、Ti、SS、Cr、Nb、
NbOx、ZAO 等。NiCr、Cr、Ti、SS、Sn、Cu、Si 等。

顯示器與一般工業

Al, Al+X Alloy, Cu, Cu+X Alloy, Cr, Mo, Mo+X Alloy, Nb, NbOx, Si, SiO2, ITO 等。

裝飾與工具

Al, Al+X Alloy, Cu, Cu+X Alloy, Cr, Mo, Mo+X Alloy, Nb, NbOx, Si, SiO2, ITO 等。

光學與太陽能光電

ZnS+Cu、Ta、SiO2、Nb、Sn、ZnAl、TiOx、Cr、Si+Cu、Si、Nb+Cu、Al、Ti、Ag 等
ZAO、Cr、Al、Ti、TiOx、SiAl、SS、Cu、Ni、Mo、NiCr、CuInGaSe、In、InSn、ZnAl、ZnSn、ZnSnSb 等