等离子电源

纳克豪 PVD 涂层和真空镀膜设备

部件和零件

等离子电源

等离子电源

产品规格

项目
	DC (1Ch)								DC (2Ch)
	EnerStream 5	EnerStream 10	EnerStream 10H	EnerStream 20	EnerStream 20H	EnerStream 30	EnerStream 30H	EnerStream 60	EnerStream 5D	EnerStream 10D
输入	3⌀ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏	3⌀ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏	3⌀ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏	3⌀ 220 伏/ 380 伏	3⌀ 220 伏/ 380 伏	3⌀ 380 伏/ 440 伏	3Φ⌀ 440V	3⌀ 440V	3⌀ 380V	3⌀ 380V
点火电压	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V
输出	800 伏，6.25 A / 400 伏，12.5 A	800 伏，12.5 A / 400 伏，25 A	1000伏，10安培/500伏，20安培	800伏，25安培/ 400伏，50安培	1000伏，20安培/500伏，40安培	800 伏，37.5 A / 400 伏，75 A	1200 伏，25 A / 545 伏，55 A	900 伏，66.6 A / 400 伏，150 A	800 伏，6.25 A / 400 伏，12.5 A	800伏，12.5安培/ 400伏，25安培
输出功率	直流 5 千瓦	直流 10 千瓦	直流 10 千瓦	直流 20 千瓦	直流 20 千瓦	直流 30 千瓦	直流 30 千瓦	直流 60 千瓦	直流 5kW + 5kW	直流 10 千瓦 + 10 千瓦
弧形能源	小于 0.5mJ/kW							小于 0.2mJ/kW	小于 0.5mJ/kW
界面	RS-232 / RS-485（选件：DeviceNet、ProfiBus）
尺寸（毫米）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	177（高）×483（宽）×655（深）	177（高）×483（宽）×655（深）	309（高）×483（宽）×783（深）	133（高）×483（宽）×655（深）	133（高）×483（宽）×655（深）
重量（千克）	24.5	24.5	24.5	30.5	30.5	38.8	38.8	80	32	32
冷却	风冷式

※ 电缆导管 + 129 毫米规格如有变更，恕不另行通知

脉冲直流波形最大限度地提高去离子效果

益处
重燃电压变化引起的电流快速增加：700V → 1000V
可调点火电压：50V ~ 300V

产品规格

项目	固定反向电压					反向电压可调			固定反向电压
项目	能量脉冲 5	能量脉冲 10	能量脉冲 10LV	能量脉冲 10M	能量脉冲 20	能量脉冲 15N	能量脉冲 20N	能量脉冲 30	脉冲 20 (ES20 + PG20)	脉冲 30 (ES30 + PG30）	脉冲 40 (2 x ES20 + PG40）
输入	3Φ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏	3Φ 208 伏/ 220 伏/ 380 伏	3Φ 380V	3Φ 380V	3Φ 220 伏/ 380 伏/ 440 伏	3Φ 440V	3Φ 220 伏/ 440 伏	3Φ 208 伏/ 440 伏	3Φ 220 伏/ 380 伏	3Φ 380 伏/ 440 伏	3Φ 220 伏/ 380 伏
点火电压	1500V	1500V	1500V	1500V	1200V	1200V	1200V	1200V	1500V	1500V	1500V
输出	800 伏，6.25 A / 400 伏，12.5 A	800 伏，12.5 A / 400 伏，25 A	650 伏，15.4 A / 300 伏，33.A	800伏，12.5安培/ 400伏，50安培	650伏，30安培/400伏，50安培	1000 伏，15 A / 500 伏，40 A	900 伏，22.2 A / 500 伏，40 A	900伏，33.3安培/400伏，75安培	800 伏，25 A / 400 伏，50 A	800伏，37.5安培/ 400伏，75安培	800伏，50安培/ 400伏，100安培
输出功率	单极脉冲 5kW	单极脉冲 10 千瓦	单极脉冲 10 千瓦	单极脉冲 10 千瓦	单极脉冲 20 千瓦	单极脉冲 15 千瓦	单极脉冲 20 千瓦	单极脉冲 30 千瓦	单极脉冲 20 千瓦	单极脉冲 30 千瓦	单极脉冲 40kW
输出频率	20 ~ 150 千赫			5 ~ 350 千赫	20 ~ 100 千赫	20 ~ 350 千赫	20 ~ 150 千赫		40 ~ 100 千赫		40 ~ 80 千赫
逆转时间	直流模式，1.0us ~ 10us				直流模式，1.0us ~ 5us	直流模式，1.0us ~ 8us			直流模式，1.0us ~ 5us
弧形能源	小于 1mJ/kW					小于 0.5mJ/kW			小于 1mJ/kW
界面	RS-232 / RS-485（选件：DeviceNet、ProfiBus）
尺寸（毫米）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	133（高）×483（宽）×605（深）	177（高）×483（宽）×700（深）	177（高）×483（宽）×782（深）	221.25（高）×483（宽）×700（深）	309（高）×483（宽）×782（深）	133（高）×483（宽）×605（深）_PG	133（高）×483（宽）×605（深）_PG	133（高）×483（宽）×605（深）_PG
重量（千克）	29.5	29.5	29.5	29.5	40	42	50	73	28	32	32
冷却	风冷式

※ 电缆导管 + 129 毫米
规格如有变更，恕不另行通知

用于双磁控管溅射和 PECVD 的双极脉冲直流电源供应器