纳克豪 PVD 涂层和真空镀膜设备

FloTron

FloTron™ 持续监控真空室的等离子体状态,并在出现任何不稳定状态时控制反应气体以稳定过程。

可快速执行精确的等离子分析和过程信息,通过可靠和精确的控制机制实现稳定的批量生产。

为什么选择 FloTron™

| 验证控制系统

  • FloTron™ 硬件和软件针对实际工业环境和流程进行了优化,非常坚固和稳定。
  • FloTron™ 可监控真空室状态和等离子体,从而使工艺操作变得非常快速和可控。

| 技术支持

  • 我们提供包括工艺知识和技术在内的咨询服务,帮助客户稳定运行涂布机并优化所需的工艺。

优势

  • 精确的等离子控制和工艺优化。
  • 提高生产率和目标利用率,帮助客户降低所有权和生产成本。
  • 最大限度地减少加工过程中的电弧。
  • 产生稳定的等离子体。

特点

  • 可提供 3、5、7 个通道,以满足不同客户的要求
  • 传感器和执行器的良好组合
  • 可记录流程数据
  • 提供各种接口:数字、模拟、PROFIBUS、PROFINET、EtherNet / IP
  • 提供遥控器

FloTron™ 规格

FloTron™ 系统尺寸359
输出端口359
(每个接口都提供电源(+/- 15V 或 24V)、模拟(0-5V/0-10V)、数字(TTL)和通信接口)。
模拟输入(BNC):0-5 或 0-10 VDC;[可选] 4-20 mA DC442 至 4
选项输入(SMA 905):PNT + 滤波器达 1最多 3不超过 5
- 光谱范围和分辨率200-900 纳米/ 10 纳米
光学输入(SMA 905):2B-PEM®11-4 (或定制)1-4 (或定制)
- 光谱范围和分辨率200-1040 纳米/ 0.15-6 纳米 (可提供多种选择)
远程控制和状态指示:数字输入/输出(TTL)359
控制算法3 项专利:PID、PDF、EPD
电源提供最大 120W 外接电源。宽电源输入电压 100-240VAC,50-60Hz,1.5A
图形用户界面兼容性Windows 8 或 10。需要 Java Runtime Environment 8 (JRE 8)
图形用户界面计算机要求[CPU:双核 i3,3Ghz,内存:4GB,操作系统:32 或 64 位 Windows 8 或更高版本,VGA 适配器:任意 [最佳] CPU:四核 i7,3.5 赫兹,内存:16GB,操作系统:64 位 Windows 8 或更高版本:64 位 Windows 8 或更高版本。VGA 适配器:GeForce 8 和 100 系列或更高版本
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