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阵列

刻蚀模块

SET 刻蚀模块

侧面氩离子体清洗系统确保涂层有效区域刻蚀均匀性为±10%, 刻蚀速率250nm/h,有效祛除基体材料表面微氧化层,增强涂层与基材结合力。

 

MET 刻蚀模块

通过调整阴极磁场设计,确保阴极在低电流条件下工作,控制金属刻蚀的能量。

刻蚀模块

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