刻蚀模块2021-02-03涂层关键技术 蚀刻模块MET设置3306SET 刻蚀模块侧面氩离子体清洗系统确保涂层有效区域刻蚀均匀性为±10%, 刻蚀速率250nm/h,有效祛除基体材料表面微氧化层,增强涂层与基材结合力。 MET 刻蚀模块通过调整阴极磁场设计,确保阴极在低电流条件下工作,控制金属刻蚀的能量。上一篇: 可调式阴极模块