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C400 多功能复合材料真空镀膜机

C400 系列定制真空镀膜系统

C400 多功能复合 PVD 离子镀膜机是用于实验性薄膜镀膜的物理气相沉积真空镀膜机，配有 4 套（靶材直径 160 毫米）多弧离子源蒸发源、2 套多磁控溅射源和 1 套多功能蒸发源（可选）。C400 能够同时安装各种不同的纯金属或合金靶材，在各种工业产品上镀制单层和多层薄膜。工具涂层和功能涂层等应用：切削工具、模具、冲模和各种关键部件（汽车、航空航天、船舶、军事和其他设备），用于表面改性（物理、化学、机械、光学、色度等）。

溅射、多弧复合涂层工艺；可实现包括 DLC、非晶、多层膜在内的复杂涂层系列
用于定制开发涂层工艺的智能主机计算机控制系统
保姆陪护服务，一站式解决涂料中心运营问题

用于研究的涂层设备, 分钟涂布机, 多功能涂层机

01 多涂层工艺集成溅射、多弧、PeCVD 和其他复合设备

02 大型设备的微型化灵活制造工具电镀、光伏和光学设备

03 内联涂布机适用于标准化、单次大批量降低成本和提高效率

04 开发新的应用技术方解石、复合收集器、SALD 原子沉积技术

C400 是为 C 系列产品定制的库存设备。标准配置中不包括 HIPIMS 和 DLC 功能。纳西的自用研究和测试镀膜机为 C400 高品质版，欢迎来样测试。C400 PVD 多功能镀膜机价格由以下部分组成：C400定制镀膜机；交钥匙工具包（镀膜中心厂房建设包；设备包装、运输、安装调试、培训）；定制镀膜工艺；根据要求选配。

说明

设备运行的主要参数和条件

占用空间长 4000× 宽 2740× 高 2200 毫米
涂层有效面积：φ680*H400
整机功率：实际工作 50kw
冷却水：纯净水，PH 值 6.5-8
压缩空气：额定压力高于 0.6Mpa
工艺气体：Ar、H2、N2、C2H2 等。
设备运行环境：温度 15 ℃ -25 ℃，湿度 ≤ 70%

真空规格（冷、空、清洁）

极限真空： 8×10-4Pa
抽水速度：≤20 分钟
压力上升率： ≤0.8Pa/hour
加热温度500℃
电气控制系统：PLC 全自动控制

掌握核心弧源技术 - 可高度定制

可调式磁场设计确保更高的靶材利用率。弧斑运行速度更快，弧斑更小，解离率更高，液滴更小，更有利于低熔点靶材的解离。

层压机的优势

各种尖端技术，如无熔滴高光弧、Hims、JVD 高功率等。
多组分、多结构、非晶态和其他涂层系统的沉积
可结合多种涂层技术
高沉积速率、高膜厚均匀性、低涂层缺陷

双蚀刻技术显著提高粘接效果：

基于 20 多年的持续运行和改进，纳克豪已开发出等离子蚀刻技术 SET 和 CET。在喷涂之前，对工具表面进行适当的蚀刻，以获得清洁和活化的界面，这对成功的喷涂效果至关重要。蚀刻需要清除表面污染物，如金属氧化物、水蒸气、微油和汗渍残渣。蚀刻还能重新激活表面，打开分子链，从而在涂层过程中产生离子键。

风力发电轴承项目

风电轴承项目产学研合作

2022 年，纳克索成功交付首台用于风力发电机轴承的 PeCVD 自润滑涂层涂布机，显著提高了风力发电机的使用寿命，降低了维护成本。纳克索，助力中国绿色电力事业可持续发展。

DLC 承重自润滑涂层系列
DLC、ta-C、含钼超润滑系列、掺硅涂层等。

机构合作

机构合作成果转化

2023 年 10 月 31 日，纳克索承接了高性能工具国家重点实验室（广东工业大学）两件纳米硬质涂层的转让，并签订了价值 120 万元的实施权转让合同。此外，纳克索还向广东工业大学捐赠了一套价值 500 万元的多功能高性能镀膜设备，包括 CET/SET 侧透辉光放电刻蚀系统、CVC 无极磁控弧源系统和 UFC 高光弧源系统。