纳狮 PVD/DLC 真空镀膜设备-IE
部件 碳膜涂层
部件和零件的 DLC 涂层解决方案
纳狮碳膜涂层DLC | ta-C | 导电DLC
纳狮碳膜涂层向导
| 类型 | 材料 | 涂层技术 | 薄膜厚度 um | 涂层硬度 Gpa | 干摩擦系数 | W工作温度 ℃ | 沉积温度 ℃ | 应用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CH | a-C:H | Lis/PECVD | 1~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <250 | 传统 DLC，空气干摩擦自润滑 |
| CHD | a-C:H | Lis/PECVD | 1~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <170 | 部件需要低温沉积，且变形最小 |
| CHW | a-C:H:W | 溅射 | 1~4 | 10~15 | <0.2 | 250 | <250 | 可承受交变载荷的低应力涂层 |
| CHS | a-C:H:Si | Lis/PECVD | 1~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <250 | 更耐腐蚀 |
| CRH | CrN/a-C:H | Lis/PECVD | 2~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <250 | 更高的涂层负载能力 |
| CTA | ta-C | 弧形 | 0.2~2 | >40 | <0.2 | 400 | <200 | 涂层硬度最高 硬质材料加工 |
| 加利福尼亚州 | a-C | 弧形 | 1~10 | 30~40 | <0.2 | 400 | <200 | 涂层厚度更厚 使用寿命更长 |
| CG | GLC | 溅射 | 1~5 | 5~15 | <0.2 | 300 | <200 | 电导率 小于 1mΩ*cm2 |
| CM | a-C:H/MoS2 | Lis/Sputter | 1~5 | 5~20 | <0.1 | -160 | <170 | 低温、真空、氮气 超低摩擦系数 |
透明硬质保护膜 | ta-C 钻石薄膜
透明硬质保护膜
DLC 涂层与 Ta-C 涂层的性能比较
DLC 和 Ta-C 性能的比较
DLC 是传统含氢碳膜的统称，通常以 SP2 键为主，膜厚 1-5 μm，常用于空气干摩擦。而 ta-C 以 SP3 键为主，硬度在 4500-7500HV 之间，厚膜通常在 1 μm 以下，呈现七彩炫光。在 20nm 附近，甚至可以实现 90% 以上可见光波段的透明度；常用于超薄超硬保护涂层，如微钻石。
用于薄刀切割机的 ta-C 涂层
可高度定制的碳膜系列
DLC 是一种高度定制化的薄膜体系，可以通过改变薄膜晶格结构、元素引用和涂层工艺来实现具有不同性能的碳薄膜，如 8 μm 超厚 DLC 或 ta-C（硬度通常降至 3500 HV 以下）。有的可实现 0.05 以下的超润滑 DLC，或含 F 的超疏水 DLC，或含硅的耐高温 DLC 等，耐温可达 450°。
纳狮涂层研发中心，可定制开发由 SP2 和 SP3 键组成的杂化以及元素掺杂薄膜系统。
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