Плазменный блок питания

Оборудование для нанесения PVD-покрытий и вакуумных покрытий Naxau

Компоненты и детали

Плазменный блок питания

Плазменный блок питания

Технические характеристики продукта

Товары
	DC (1Ch)								DC (2Ch)
	EnerStream 5	EnerStream 10	EnerStream 10H	EnerStream 20	EnerStream 20H	EnerStream 30	EnerStream 30H	EnerStream 60	EnerStream 5D	EnerStream 10D
Вход	3⌀ 208 В/ 220 В/ 380 В	3⌀ 208 В/ 220 В/ 380 В	3⌀ 208 В/ 220 В/ 380 В	3⌀ 220 В/ 380 В	3⌀ 220 В/ 380 В	3⌀ 380 В/ 440 В	3Φ⌀ 440V	3⌀ 440V	3⌀ 380V	3⌀ 380V
Напряжение зажигания	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V
Выход	800 В, 6,25 А / 400 В, 12,5 А	800 В, 12,5 А / 400 В, 25 А	1000V, 10A / 500V, 20A	800 В, 25 А/ 400 В, 50 А	1000V, 20A / 500V, 40A	800 В, 37,5 А / 400 В, 75 А	1200В, 25А / 545В, 55А	900 В, 66,6 А / 400 В, 150 А	800 В, 6,25 А / 400 В, 12,5 А	800 В, 12,5 А/ 400 В, 25 А
Выходная мощность	DC 5 кВт	DC 10 кВт	DC 10 кВт	DC 20 кВт	DC 20 кВт	DC 30 кВт	DC 30 кВт	DC 60 кВт	DC 5кВт + 5кВт	Постоянный ток 10 кВт + 10 кВт
Arc Energy	Менее 0,5 мДж/кВт							Менее 0,2 мДж/кВт	Менее 0,5 мДж/кВт
Интерфейс	RS-232 / RS-485 (опция: DeviceNet, ProfiBus)
Размер (мм)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	177(В) x 483(Ш) x 655(Г)	177(В) x 483(Ш) x 655(Г)	309(H) x 483(W) x 783(D)	133(В) x 483(Ш) x 655(Г)	133(В) x 483(Ш) x 655(Г)
Вес (кг)	24.5	24.5	24.5	30.5	30.5	38.8	38.8	80	32	32
Охлаждение	Воздушное охлаждение

※ Кабельный канал + 129 мм ※ Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления

Импульсная форма волны постоянного тока для максимальной дионизации

Преимущества
Быстрое увеличение тока, вызванное изменением напряжения зажигания: 700 В → 1000 В
Регулируемое напряжение зажигания: 50В ~ 300В

Технические характеристики продукта

Товары	Реверсивный болт Фиксированный					Регулируемое обратное напряжение			Фиксированное обратное напряжение
Товары	EnerPulse 5	EnerPulse 10	EnerPulse 10LV	EnerPulse 10M	EnerPulse 20	EnerPulse 15N	EnerPulse 20N	ЭнерПульс 30	Пульс 20 (ES20 + PG20)	Пульс 30 (ES30 + PG30)	Пульс 40 (2 x ES20 + PG40)
Вход	3Φ 208V/ 220V/ 380V	3Φ 208V/ 220V/ 380V	3Φ 380V	3Φ 380V	3Φ 220V/ 380V/ 440V	3Φ 440V	3Φ 220 В/ 440 В	3Φ 208 В/ 440 В	3Φ 220V/ 380V	3Φ 380 В/ 440 В	3Φ 220V/ 380V
Напряжение зажигания	1500V	1500V	1500V	1500V	1200V	1200V	1200V	1200V	1500V	1500V	1500V
Выход	800 В, 6,25 А / 400 В, 12,5 А	800 В, 12,5 А / 400 В, 25 А	650 В, 15,4 А / 300 В, 33 А	800 В, 12,5 А/ 400 В, 50 А	650 В, 30 А / 400 В, 50 А	1000V, 15A / 500V, 40A	900 В, 22,2 А / 500 В, 40 А	900 В, 33,3 А / 400 В, 75 А	800 В, 25 А / 400 В, 50 А	800 В, 37,5 А/ 400 В, 75 А	800 В, 50 А/ 400 В, 100 А
Выходная мощность	Униполярный импульс 5 кВт	Униполярный импульс 10 кВт	Униполярный импульс 10 кВт	Униполярный импульс 10 кВт	Униполярный импульс 20 кВт	Униполярный импульс 15 кВт	Униполярный импульс 20 кВт	Униполярный импульс 30 кВт	Униполярный импульс 20 кВт	Униполярный импульс 30 кВт	Униполярный импульс 40 кВт
Выходная частота	20 ~ 150 кГц			5 ~ 350 кГц	20 ~ 100 кГц	20 ~ 350 кГц	20 ~ 150 кГц		40 ~ 100 кГц		40 ~ 80 кГц
Обратное время	Режим постоянного тока, 1.0us ~ 10us				Режим постоянного тока, 1.0us ~ 5us	Режим постоянного тока, 1.0us ~ 8us			Режим постоянного тока, 1.0us ~ 5us
Arc Energy	Менее 1 мДж/кВт					Менее 0,5 мДж/кВт			Менее 1 мДж/кВт
Интерфейс	RS-232 / RS-485 (опция: DeviceNet, ProfiBus)
Размер (мм)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)	177(В) x 483(Ш) x 700(Г)	177(В) x 483(Ш) x 782(Г)	221,25(В) x 483(Ш) x 700(Г)	309(В) x 483(Ш) x 782(Г)	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)_PG	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)_PG	133(В) x 483(Ш) x 605(Г)_PG
Вес (кг)	29.5	29.5	29.5	29.5	40	42	50	73	28	32	32
Охлаждение	Воздушное охлаждение

※ Кабельный канал + 129 мм
※ Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления

Биполярный импульсный источник питания постоянного тока для двойного магнетронного напыления и PECVD