纳狮真空镀膜设备-Naxau IE纳米涂层加工

PVD-刀工具-模具真空镀膜机

PVD-vacuum-deposition-equipment-800x600

新一代阴极电弧技术

纳狮M系列PVD真空镀膜系统是甚于纳狮SPARK© 平台设计，具有CVC© （连续可变阴极技术)和 UFC©(超精细阴极技术）专利的电弧阴极关键技术的一款产品。SPARK© 平台具有
高度的灵活性，是业界最可靠的生产输出之一。多种等离子体技术可以在一台设备上复合使用。

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基于超过 20 年的持续运行和改进，Naxau 已经开发了一种专利的等离子体刻蚀技术 SET© 和 CET© 。在镀膜之前，对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化的界面，对于成功的涂层结果至关重要。刻蚀需要去除表面污染物，如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面，打开分子链，促使涂层过程中离子键结合。

纳狮的 SET© 和CET© 技术在镀膜过程中也可作为气体等离子体源使用。对于用于工具的 M 系列 PVD 涂层设备，SET© 和 CET© 技术可以使工具涂层的硬度提高 30% 以上。

Advantages:

  • Improved target utilization (up to 30%)
  • Enhanced magnetic-field system, thus increased deposition rate
  • Quick cathode exchange

ETCHING TECHNOLOGIES APPLIED:

  • Lateral Glow Discharge
  • Plasma etching with argon, glow discharge
  • Metal ion etching (Ti, Cr)

LOAD AND CYCLE TIMES:

  • Max. coating volume [mm]: ø68 x H800
  • Max. coating height with defined coating thickness: 800mm
  • Max. load: 800kg
  • 3-4 batches/day

MODULAR CAROUSEL SYSTEMS:

  • Dual-rotation kicker carousel or triple-rotation gearbox system

SOFTWARE:

  • Simple use and maintenance
  • Modern control system with touch screen
  • Data recording and real-time display of process parameters and flow
  • Manual and automatic process control
  • Remote diagnostics and maintenance

MACHINE DIMENSIONS:

  • Footprint [mm]: L4545 x W2200 x H2522

DOWNLOAD:

P系列刀工具镀膜机

>M450 >M600 M850
有效尺寸[mm] D450x450 D680x600 D680x850
承重[kg] 300 500 800
杆状刀具装载和镀膜时间(2um)： φ10 x 70mm 462pcs, 4h 1,200pcs, 6h 1,680pcs, 8h
刀片装载数量和镀膜时间(3um)： φ20 x 5mm 3,100pcs, 4h 6,800pcs, 6h 12,000pcs, 8h
滚齿刀装载数量和镀膜时间(5um)： φ80 x 100mm 28pcs, 5h 72pcs, 6h 96pcs, 8h
PVD 技术 CVC®  or UFC® CVC ®  or UFC® CVC ®  or UFC®
刻蚀技术 SET®  or CET® SET®  or CET® SET®  or CET®
阴极数量 4 6 12
涂层种类 TiN,TiCN,CrN,Cr2O3,TiO2,AlTiN, AlCrTiN, TiSiAlN, AlCrN, etc. TiN,TiCN,CrN,Cr2O3,TiO2,AlTiN, AlCrTiN, TiSiAlN, AlCrN, etc. TiN,TiCN,CrN,Cr2O3,TiO2,AlTiN, AlCrTiN, TiSiAlN, AlCrN, etc.
占地面积D*W*H (mm) 4600x2000x2000 4600x2300x2300 4600x2300x2500