아크 음극
DLC 코팅
아크 이온 도금
- 선형 아크 음극
- 원형 아크 음극
아크 음극은 DLC 및 아크 이온 도금 시스템의 핵심 부품입니다. 최적화된 설계를 통해 목표 가동률과 생산 능력을 개선하고 극대화할 수 있습니다. 낙사우는 고객에게 최적화된 솔루션을 제공하기 위해 자기장, 설계 등의 시뮬레이션을 수행합니다.
이온 소스
전처리
지원
DLC
- 선형 이온 소스
이온 소스는 플라즈마 클리팅 공정의 핵심 구성 요소로, 이온을 기판으로 가속하여 물리적/화학적 반응을 일으켜 기판 표면을 활성화하여 접착력을 향상시킵니다.
낙사우는 자체 설계를 통해 표면 전처리에 필요한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
RF ICP 플라즈마 소스
PECVD
PVD
레지스트 에칭
청소 및 활성화
PALD - 어시스트
- 라운드 소스
- 선형 소스
- 링 소스
- 소스 내장
아크 음극은 DLC 및 아크 이온 도금 시스템의 핵심 부품입니다. 최적화된 설계를 통해 목표 가동률과 생산 능력을 개선하고 극대화할 수 있습니다. 낙사우는 고객에게 최적화된 솔루션을 제공하기 위해 자기장, 설계 등의 시뮬레이션을 수행합니다.
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