替代Au焊锡溅射工艺及设备

2021-11-01 2851

 工业控制及自動化、新能源汽车、电机节能、太阳能发展等领域需要各种类型的功率器件，功率器件制造流程，硅片的欧姆接触层，采用高可靠性焊锡溅射取代纯金溅射工艺，可实现材料成本减半。热循环测试，1个循环：40°C×30min，125°C×30min ...

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