可调式阴极模块

可调式磁场设计，确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度，较小弧光斑点，较高离化率，较小液滴。更为低熔点靶材的离化，尤其适用于AlCrN基涂层制备。 ,