刻蚀模块

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侧面氩离子體清洗系统确保涂层有效区域角蚀均匀性为±10%, 刻蚀速度250nm/h, 效祛除基体材料表面微氧化层, 增强涂层与基材结合力。

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金属刻蚀可能增强硬质涂層和基材结合力。调整阴极磁場设计通过确保阴极在低流条件下工作，控制金属刻蚀的能量。低流的金属刻蚀可有效减少刀工具烧蚀风险。