반응성 가스 제어 시스템

낙소 PVD 코팅 및 진공 코팅 장비

구성 요소 및 부품

반응성 가스 제어 시스템

반응성 가스 제어 시스템

FloTron

FloTron™은 진공 챔버의 플라즈마 상태를 현장에서 계속 모니터링하고 불안정한 상태가 발생할 경우 반응성 가스를 제어하여 공정을 안정화합니다.

정밀한 플라즈마 분석과 공정 정보가 빠르게 실행되어 안정적이고 정밀한 제어 메커니즘을 통해 안정적인 대량 생산이 가능합니다.

플로트론™이 필요한 이유

| 검증된 제어 시스템

FloTron™ 하드웨어와 소프트웨어는 실제 산업 환경과 프로세스에 최적화되어 매우 견고하고 안정적입니다.
FloTron™은 진공 챔버 상태와 플라즈마를 모니터링하여 공정 작동을 매우 빠르고 제어할 수 있습니다.

| 기술 지원

공정 노하우와 기술을 포함한 컨설팅 서비스를 제공하여 고객이 안정적으로 코터를 운영하고 필요한 공정을 최적화할 수 있도록 지원합니다.

이점

정밀한 플라즈마 제어 및 프로세스 최적화.
생산성과 목표 활용도를 높여 고객의 소유권과 생산 비용을 낮추는 데 도움이 됩니다.
프로세스 중 아크 최소화.
안정적인 플라즈마 생성.

특징

다양한 고객 요구 사항을 충족하는 3, 5, 7 채널 사용 가능
센서와 액추에이터의 좋은 조합
사용 가능한 프로세스 데이터 로깅
다양한 인터페이스 사용 가능: 디지털, 아날로그, 프로피버스, 프로피넷, 이더넷/IP
원격 제어 가능

FloTron™ 사양

FloTron™ 시스템 크기	3	5	9
출력 포트	3	5	9
출력 포트	(각각 전원(+/- 15V 또는 24V), 아날로그(0-5V/0-10V), 디지털(TTL) 및 통신 인터페이스 제공)
아날로그 입력(BNC): 0-5 또는 0-10VDC; [옵션] 4-20mA DC	4	4	2 ~ 4
옵션 입력(SMA 905): 'PNT + 필터'	최대 1	최대 3	최대 5
- 스펙트럼 범위 및 해상도	200-900nm/ 10nm
광 입력(SMA 905): 2B-PEM®	1	1-4 (또는 맞춤형)	1-4 (또는 맞춤형)
- 스펙트럼 범위 및 해상도	200-1040nm/ 0.15-6nm (여러 옵션 사용 가능)
원격 제어 및 상태 표시: 디지털 입력/출력(TTL)	3	5	9
제어 알고리즘	3 독점: PID, PDF, EPD
전원	외부 120W(최대) 전원 공급 장치 제공. 넓은 주전원 입력 전압 100-240VAC, 50-60Hz, 1.5A
GUI 호환성	Windows 8 또는 10. Java 런타임 환경 8(JRE 8)이 필요합니다.
GUI 컴퓨터 요구 사항	[최소] CPU: 듀얼 코어 i3, 3Ghz, RAM: 4GB, OS: 32 또는 64비트 Windows 8 이상, VGA 어댑터: 모든 것 [최적] CPU: 쿼드 코어 i7, 3.5Hz, RAM: 16GB, OS: 64비트 Windows 8 이상. VGA 어댑터: GeForce 8 및 100 시리즈 이상