01 PVD의 공백이란 무엇인가요? #
孔径比(厚径比,纵横比), 종횡비。PVD真空镀膜的经验数值,孔深:孔深<1:1,孔深值不能大于孔径,否则很难镀上。越深膜越浅,且不同的涂层种类和工艺深度不同。但总体而言,PVD不适合镀内孔。通常在孔径小于6mm,内孔里面就很难↪LoHan_9540到;相反,孔径越大,能镀进入的概率越大。
通过两维旋转挂具,可以改善深孔镀膜效果。 如下图,当二维旋转时,孔的两端都被镀上,越往深孔的中间,膜层越薄,或者镀上不可以。
- 孔径比1:1;但是,工件真实开口尺寸越大,能镀去越深;。
- 氮化钛具有优秀的绕镀性;
- 可以旋转工件,两端镀膜;
- HiPIMS는 1:2를 초과할 수 있지만 적용이 제한됩니다.
- 有DC空心阴极技术;及将电极深入工件腔室内;为工件专用定设备;。
PeCVD는 PVD에 비해 투명성이 좋지만 여전히 깊은 구멍이 없습니다. PeCVD의 DLC 표면, 내부 벽면이 선명하게 보입니다. DLC는 1 마이크로미터 이하로 낮아지면 밝은 색상이 나타나지만 두께가 동일하지 않고 현재 색상도 동일하지 않습니다.
02 화염층 우수성 #
PVD氮化钛涂层 特别是在开槽零件时,可以明显突破孔径比1:1法则。下图这类开槽的零件对于看看,可以看见最里面的拐角处有明显发白,其颜色都比较均匀。纳狮通常使用复合黄钛,打底层和中间层有1-2微米,而氮化钛不超过1.5微米。因此,如果延长镀膜时间,则此类两边开槽的工件,可以镀上的。
03 真空镀膜的内孔工艺 #
중국에는 이미 최고 16 : 1의 PVD 심공 드릴링 머신이 있으며 가격은 200 만 달러이며 기계가 없습니다. 그러나 중국 업계는 더 많은 양의 제품을 선호하고 있으며, 규칙적인 이점도 있습니다.CVD그리고 그 연장은 LPCVD와 같은 화공 공정을 통해 내부 공기와 기체까지 도달할 수 있습니다. 그러나 내부 제어는 외벽의 절반 왼쪽에만 있으며 일반 PVD의 응용 현장 환경과 다릅니다.
04 PVD 화층 모델링 사례 #
电子枪PVD适合做模具涂层,表面无液滴,膜致密,绕镀性好,为纳狮镜面模具涂层工艺之一。