工业升级设备先行

산업 업그레이드를 위한 인텔리전트 리더십

定制型真空镀膜机

제품 및 프로젝트

纳狮定制系列真空镀膜系统是甚于纳狮SPARK 平台设计，蒸发镀、多弧离子镀、溅射/HIPIMS、PeCVD 등 다양한 3D 프린팅 기술을 통해 신체 치수를 결정하고, 3D 프린팅 기술을 결합하고, 정밀하게 제어하는 등 유연성 생산 및 연구에 적합합니다.

纳狮拥有20年真空镀膜技术研发经验一直以技术和服务作为公司立足之本。纳狮可一站式，提供真空涂层中心筹建、生产线外围设备、真空镀膜系统、涂层品控体系、人员sop培训、涂层工艺定向开发及终身维保服务。

溅射、多弧复合镀膜工艺；可实现包括dlc、非晶态、多层膜等复杂涂层系列
계층 제어를 위한 지능형 상위 제어 시스템 사용
보안 서비스, 한 곳에서 중앙 집중식 운영 문제 해결

연구용 코팅 장비, 맞춤형 코팅 기계, 최소 코팅 기계, 다기능 코팅기

01 多镀膜工艺集成노광, 다층, PeCVD 등 복합기

02 대형 설비 소형화工具镀、光伏、光学设备柔性制造

03 流水线镀膜机适用于标准化、单一量大降本增效

04 새로운 애플리케이션 기술 개발钙钛矿、复合集流体、サル原子沉积技术

掌握核心弧源技術-高度定制

可调式磁场设计，确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度，较小弧光斑点，较高的离化率，较小液滴，更为低熔点靶材的离化。

시스템 이점

无液滴高光弧、Himims、JVD大功率等多种前沿技术
다분할, 다결합, 비결정성 등 계층 시스템
다양한 기술 조합 가능
高沉积率、高膜厚均一性、低涂层缺陷

双刻蚀技术，大幅提升结合力：

20 년 이상의 지속적인 운영과 개선을 바탕으로 Naxau 已经开发了一种等离子体刻蚀技术 SET和 CET。在镀膜之前，工具表面进行的刻蚀达到清洁和活动的界面，成功的涂层结果对关重要。刻蚀需要去除表面污染物，如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面，打开分子链。促使涂层过程中离子键结合。

풍력 발전 베어링 프로젝트

风电轴承项目产学研究作品

2022年，纳狮已成功交付首台风电轴承PeCVD自润滑涂层镀膜机，大幅提高风电机的壽命和降低维护成本。纳狮，助中国绿电业可持续发展。

DLC 承重自润滑涂層系列
DLC、ta-C、含Mo超润滑系列、含硅等掺杂涂层

기관 협력

院校合作成果转化

2023年10月31日，纳狮承接高性能工具全国重点实验室（广东工业大学）两项纳米硬质涂层成果转让，签约价值壹佰贰拾万元整的权转让实施合同。此外，纳狮还向广工大捐赠价值五百万元的多功能高性能涂层设备一套，该设备囊括CET/SET侧向-贯穿式辉光放电刻蚀系统、CVC无极磁控弧源系统、UFC高光弧源系统。