PVD 코팅 장비

낙소 PVD 코팅 및 진공 코팅 장비

PVD 코팅 장비

M850 PVD

사양

균일성 : ± 15%
코팅 시간 : 1시간
필름 : TiN, TiAlN, AlCrN, TiAlSiN, AlCrSiN 등
펄스 DC 바이어스
평면 및 원형 아크
특수 고온 히터 : 60KW
최대 하중 : 800Kg
축 : 12 스핀들
코팅 영역 : ф 680 x 850H

생산 능력(샘플)

모델	삽입	엔드밀
모델	SPCN12	D7.6 x L45	D7.6 x L65
MX850	3,024개	576개	432개
MX680	6,720개	1,440개	1,200개

P600 PeCVD

사양

균일성 : ± 15%
코팅 시간 : 1시간
필름 : TiN, TiAlN, AlCrN, TiAlSiN, AlCrSiN 등
펄스 DC 바이어스
평면 및 원형 아크
특수 고온 히터 : 60KW
최대 하중 : 500Kg
축 : 8개의 스핀들
코팅 영역 : ф 680 x 600H

MCK 2000

대용량 하이브리드 코팅 장비(이온 소스, 스퍼터, 아크)

사양

균일성 : ± 15%
사이클 시간 : 5-7시간
필름 : TiN, CrN, TiAlN, DLC 등
높은 온도. 히터 : 60KW
최대 하중 : 1,000Kg
축 : 10 스핀들
코팅 영역 : ф 900 x 2,000H

MCK 850

세라믹 및 히터 블록 코팅기.

사양

균일성 : ± 10%
사이클 시간 : 6-7시간
필름 : TiN, 알파 코팅
펄스 DC 바이어스
평면 및 로터리 스퍼터
이온 건 에칭
특수 고온. 히터 : 36KW
최대 하중 : 300Kg
축 : 6 스핀들
코팅 영역 : ф 860 x 400H