차세대 음극 아크 기술
모델 M은 특허받은 CVC® 및 UFC® 아크 음극 기술이 적용된 Naxau SPARK® 플랫폼을 기반으로 설계되었습니다. SPARK® 플랫폼은 업계에서 가장 신뢰할 수 있는 생산량으로 높은 유연성을 제공합니다. 여러 플라즈마 기술을 하나의 장비에 결합할 수 있습니다.
이 장비의 주요 특징은 코팅 성능의 저하 없이 빠른 사이클 시간, 간편한 작동, 합리적인 가격의 사용자 친화성입니다. ARC 기술을 활용한 두 개의 회전 음극을 갖춘 이 장치는 엄선된 낙소 시그니처 코팅을 일관되게 높은 품질로 증착합니다. 이 장비는 코팅 분야에 진출하고자 하거나 장비에 고속 소량 PVD 시스템을 추가하고자 하는 고객에게 이상적인 선택입니다.
장점:
- 목표 활용도 향상(최대 30%)
- 향상된 자기장 시스템으로 증착률 증가
- 빠른 음극 교환
에칭 기술이 적용되었습니다:
- 측면 광선 방전
- 아르곤을 이용한 플라즈마 에칭, 글로우 방전
- 금속 이온 에칭(Ti, Cr)
로드 및 주기 시간:
- 최대 코팅 부피 [mm]: ø68 x H800
- 코팅 두께가 정의된 최대 코팅 높이: 800mm
- 최대 하중: 800kg
- 하루 3~4회 배치
모듈형 캐러셀 시스템:
- 이중 회전 키커 캐로슬 또는 삼중 회전 기어박스 시스템
소프트웨어:
- 간단한 사용 및 유지 관리
- 터치스크린을 갖춘 최신 제어 시스템
- 데이터 기록 및 프로세스 매개변수 및 흐름의 실시간 표시
- 수동 및 자동 프로세스 제어
- 원격 진단 및 유지 관리
기계 치수:
- 설치 공간 [mm]: L4545 x W2200 x H2522
다운로드:
- 낙사우 MX850 PVD 코팅 시스템 - En.PDF
모델 M | M450 | M600 |
플라즈마 영역(mm) | D680x450 | D680x600 |
최대 적재량(kg) | 300 | 500 |
PVD 기술 | CVC 또는 UFC | CVC® 또는 UFC® |
에칭 기술 | SET® 또는 CET® | SET® 또는 CET® |
코팅 가능 | 도구용 모든 코팅 | 도구용 모든 코팅 |
듀라 기술 | 요청 시 가능 | 요청 시 가능 |
음극 수 | 6 | 10 |
최소 표면 거칠기(Ra) | Ra0.05(UFC® 장착 필요) | Ra0.05(UFC® 장착 필요) |
바닥 공간 D*W*H(mm) | 4600x2300x2000 | 4600x2300x2000 |
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