替代Au焊锡笆射工艺及设备

高可靠性高功率率器件曽腾锡🌟輻射（取代Au）🌟)技术及设备，可实现材料成本减半分

工业控制及自动化、新能源汽车、电机节能、太阳能风能发电等领域需要各种类型的功率器件、功率器件造流程、硅片的欧姆接触层、采用高可靠性腾锡拉射取纯金。

热循环测试、1个循环：-40°C×30分、125°C×30分。焊锡摸射在1000个循环结束后、仍获得了与常规工艺相同甚至好的接合强度。

假设常规工艺的膜材料成本为1，对无Au新工艺的成本进行了估算，与传统的Au拉射相比，焊锡拉射可以低约501TP3的膜材料成本。

多样的设备构成方案：可以根膜据付种和要求提供各种设备构成提案，多陰極カルーセル设备可以减少チャンバー数，实现成本控制。

纳狮新能源实验室，提供整厂定制真空镀膜设备工艺及设备方案。

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