可调式阴极模块

APC 阴极模块

可调式磁场设计，确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度，较小的弧光点，较高的离化率，较小的液滴，更于低熔点靶材的离化，尤其适用于AlCrN基ڂ层制备。

AFC阴极模块

通过调整阴极磁场的布局，改变水平磁场和小向磁场分量，确保弧光跑动速度和细化先进的高能离子源可有效减少涂层液滴，满足大多数单层，多层，纳米层的涂层生製品。