フロトロン
FloTron™は、真空チャンバー内のプラズマの状態をその場でモニターし続け、不安定な状態が発生した場合には、反応ガスを制御してプロセスを安定させます。
精密なプラズマ分析とプロセス情報を高速で実行し、信頼性の高い精密な制御機構により安定した量産を可能にします。
なぜフロトロン™なのか
| 検証済み制御システム
- FloTron™のハードウェアとソフトウェアは、実際の業界環境とプロセスに最適化されており、非常に堅牢で安定しています。
- FloTron™は真空チャンバーの状態とプラズマをモニターし、プロセス操作を非常に高速でコントロールしやすくします。
| テクニカルサポート
- プロセスノウハウや技術を含めたコンサルティングサービスを提供し、お客様の安定したコーター操業と必要なプロセスの最適化を支援します。
メリット
- 精密なプラズマ制御とプロセスの最適化。
- 生産性と目標稼働率を向上させ、顧客の所有権と生産コストを削減する。
- プロセス中のアーク放電を最小限に抑える。
- 安定したプラズマ生成。
特徴
- 3,5,7チャンネルがあり、様々なお客様のご要望にお応えします。
- センサーとアクチュエーターの優れた組み合わせ
- プロセスデータのロギングが可能
- 各種インターフェース：デジタル、アナログ、PROFIBUS、PROFINET、EtherNet / IP
- リモコンあり
フロトロン仕様
| フロトロン™システムのサイズ | 3 | 5 | 9 |
| 出力ポート | 3 | 5 | 9 |
| (それぞれが電源（+/- 15Vまたは24V）、アナログ（0-5V/0-10V）、デジタル（TTL）および通信インターフェースを提供します。） | |||
| アナログ入力(BNC): 0-5 または 0-10 VDC; [オプション] 4-20 mA DC | 4 | 4 | 2～4 |
| オプション入力（SMA 905）：PNT + フィルタ | 最大1 | 最大3 | 最大5 |
| - スペクトル範囲と分解能 | 200-900 nm/ 10 nm | ||
| 光入力（SMA 905）：2B-PEM | 1 | 1-4 (またはオーダーメイド） | 1-4 (またはオーダーメイド） |
| - スペクトル範囲と分解能 | 200-1040 nm/ 0.15-6 nm (複数のオプションあり） | ||
| リモートコントロールとステータス表示：デジタル入力/出力（TTL） | 3 | 5 | 9 |
| 制御アルゴリズム | 3つの独自性：PID、PDF、EPD | ||
| パワー | 外部120W（最大）電源供給。広い主電源電圧 100-240VAC、50-60Hz、1.5A | ||
| GUIの互換性 | Windows 8または10Java Runtime Environment 8 (JRE 8)が必要です。 | ||
| GUIコンピュータの要件 | [分] CPU：デュアルコアi3、3Ghz、RAM：4GB、OS：32ビットまたは64ビット Windows 8以降、VGAアダプタ：任意 [最適] CPUクアッドコア i7、3.5Hz、RAM: 16GB、OS：64ビットWindows 8以降。VGAアダプタGeForce 8および100シリーズ以上 | ||
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