アーク陰極
DLCコーティング
アークイオンプレーティング
- リニアアーク陰極
- サーキュラー・アーク・カソード
アークカソードは、DLCおよびアークイオンプレーティングシステムの重要なコンポーネントです。最適化された設計により、ターゲットの利用率と生産能力を向上させ、最大化することができます。Naxauはお客様に最適なソリューションを提供するために、磁場、設計などのシミュレーションを実行します。
イオン源
前処理
アシスト
DLC
- リニアイオン源
イオンソースはプラズマクリーティングプロセスの重要なコンポーネントであり、基材にイオンを加速させ、物理的/化学的反応を起こして基材表面を活性化し、密着性を向上させる。
ナクソーは独自の設計により、表面前処理に必要なカスタマイズされたソリューションを提供する。
RF ICPプラズマ・ソース
PECVD
PVD
レジスト・エッチング
クリーニング&アクティベーション
PALD - アシスト
- ラウンドソース
- リニアソース
- リング・ソース
- ソース内蔵
アークカソードは、DLCおよびアークイオンプレーティングシステムの重要なコンポーネントです。最適化された設計により、ターゲットの利用率と生産能力を向上させ、最大化することができます。Naxauはお客様に最適なソリューションを提供するために、磁場、設計などのシミュレーションを実行します。