可调式阴极模块 2021-02-03 3376 可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度,较小的弧光点,较高的离化率,较小的滴液,更于低熔点靶材的离化,尤其适用于AlCrN基涂、 查看全文