hppms大功率脉冲磁控溅射pvd涂层技术 2018-11-28 2842 高功率脉冲磁控拉射(HPPMS),也称为高功率脉冲磁控拉射(HIPIMS)是基于磁控拉射沉积的PVD涂层技术。HPPMS利用kW / cm 2量级的极高功率密度在小于10%的低空占比(开/关时间比)下,以数十微秒的脉冲(脉冲)为单位。HPPMS的显着特征是拉射金属的高度电离和分子。 查看全文