真空コーティング-Naxau PVD/DLC真空コーティング装置-IE

hppms大功率脉冲磁控溅射pvd涂层技术

2018-11-28 2991

高功率脉冲磁控拉射（HPPMS），也称为高功率脉冲磁控拉射（HIPIMS）是基于磁控拉射沉积的PVD涂层技术。HPPMS利用kW / cm 2量级的极高功率密度在小于10％的低空占比（开/关时间比）下，以数十微秒的脉冲（脉冲）为单位。HPPMS的显着特征是拉射金属的高度电离和分子。