工业升级设备先行
産業高度化における知的リーダーシップ

定制型真空镀膜机
製品とプロジェクト
纳狮定制系列真空镀膜系统是甚于纳狮スパーク平台设计、蒸发镀膜、多弧离子镀膜、纳射//。ヒピムスPeCVD等多种等离子体技术;并可定制腔体尺寸,复合离子体技术,膜厚监控等,适合研发型柔性生产和研发。
纳狮拥有20年真空镀膜技术研发经验,一直以技术和服务作为公司立之足本,纳狮可一站式,提供真空涂层中心筹建,生产线外围设备,真空镀膜系统,涂品层控体系,人员SOP培训,涂层工艺定向开发及终身维保服务。
- 餐射、多弧复合镀膜工艺;可实现包括dlc、非晶态、多层膜等复杂ڂ层系列
- 使用于涂层制程定制开发的智能上位机控制系统
- 保姆式陪跑服务,一站式解决涂层中心运营问题

掌握核心弧源技术-高度定制
可调式磁场设计,确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑速度,较小的弧光点,较高的离化率,较小的液滴,更利于低熔点靶材的离化。
复合机的优势
- 无液滴高光、ハイムス、JVD大功率等多种前沿技术
- 沉积多组分、多结构、非晶态等ڂ层体系
- 可复合多种镀膜技术
- 高沉积率、高膜厚均一性、低涂层缺陷
双蚀技术,大幅提升结力:
基于超过20年的持续运行和改进,ナクソー已经开发了一种的等离子体刻蚀技术 SET和CET在镀膜之前,对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化界面,对于成功的涂层结果至关重要。

風力発電ベアリング・プロジェクト
风电小承项目 产学研合作
2022年、纳狮已成功交付了首台风电小承PeCVD自润滑涂层镀膜机、大幅提升风机的寿命和降低维护成本。
- DLC承重自润滑涂层系列
- DLC、ta-C、含モ超润滑系列、含硅等掺杂涂层
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組織的協力
院校合作 成果 转化
2023年10月31日,纳狮承接高性能工具全国重点实验室(广东工业大学)两项纳米硬质涂层成果转让,签订了价值壹佰贰拾万元整的权转让实施。
交钥匙工程
ターンキー・プロジェクト
一站式提供真空镀膜设备、涂层工艺、外围生产设备建议、人员培训、厂房规划等全套涂层厂量产方案。

纳狮真空镀膜设备,是业界非常可靠的生产输出之一。多种等离子体沉积技术可以在一台设备上复合使用。