ナクソー・PVD/DLC真空コーティング装置-IE
工业升级 设备先行
産業高度化における知的リーダーシップ
定制型真空镀膜机
製品とプロジェクト
纳狮定制系列真空镀膜系统是甚于纳狮SPARK 平台设计，蒸发镀、多弧离子镀、溅射/HIPIMS、PeCVD等多种等离子体技术；并可定制腔体尺寸、复合离子体技术、膜厚监控等，适合研发型柔性生产和研发。
纳狮拥有20年真空镀膜技术研发经验，一直以技术和服务作为公司立足之本。纳狮可一站式，提供真空涂层中心筹建、生产线外围设备、真空镀膜系统、涂层品控体系、人员SOP培训、涂层工艺定向开发及终身维保服务。
- 溅射、多弧复合镀膜工艺；可实现包括DLC、非晶态、多层膜等复杂涂层系列
- 使用于涂层制程定制开发的智能上位机控制系统
- 保姆式陪跑服务，一站式解决涂层中心运营问题
掌握核心弧源技术-高度定制
可调式磁场设计，确保更高的靶材利用率。拥有更快的弧斑跑动速度，较小的弧光斑点，较高的离化率，较小的液滴，更利于低熔点靶材的离化。
复合机的优势
- 无液滴高光弧、Himims、JVD大功率等多种前沿技术
- 沉积多组分、多结构、非晶态等涂层体系
- 可复合多种镀膜技术
- 高沉积率、高膜厚均一性、低涂层缺陷
双刻蚀技术，大幅提升结合力：
基于超过 20 年的持续运行和改进，Naxau 已经开发了一种 的等离子体刻蚀技术 SET 和 CET 。在镀膜之前，对工具表面进行适当的刻蚀以达到清洁和活化的界面，对于成功的涂层结果至关重要。刻蚀需要去除表面污染物，如金属氧化物、水汽、微油和汗液碎片等。刻蚀也可以重新激活表面，打开分子链，促使涂层过程中离子键结合。
風力発電ベアリング・プロジェクト
风电轴承项目 产学研合作
2022年，纳狮已成功交付了首台风电轴承PeCVD自润滑涂层镀膜机，大幅提升风轮机的寿命和降低维护成本。纳狮，助力中国绿电事业可持续发展。
- DLC承重自润滑涂层系列
- DLC、ta-C、含Mo超润滑系列、含硅等掺杂涂层
組織的協力
院校合作 成果转化
2023年10月31日，纳狮承接高性能工具全国重点实验室（广东工业大学）两项纳米硬质涂层 成果转让，签订了价值壹佰贰拾万元整的 权转让实施合同。此外，纳狮还向广工大捐赠价值五百万元的多功能高性能涂层设备一套，该设备囊括CET/SET侧向-贯穿式辉光放电刻蚀系统、CVC无极磁控弧源系统、UFC高光弧源系统。
交钥匙工程
ターンキー・プロジェクト
一站式提供真空镀膜设备、涂层工艺、外围生产设备建议、人员培训、厂房规划等全套涂层厂量产方案。
纳狮真空镀膜设备，是业界非常可靠的生产输出之一。多种等离子体沉积技术可以在一台设备上复合使用。
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