Pシリーズ DLCコーティングシステム

ナクソー・コア・エッチング技術

20年以上にわたる継続的な操業と改良に基づき、ナクソーはアーク特許取得済みのプラズマエッチング技術SET®とCET®を開発しました。メッキを成功させるためには、コーティング前に工具の表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングは、金属酸化物、水分、微小油分、汗くずなどの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングにより表面を再活性化することで、分子結合が開き、コーティングプロセスでイオン結合が可能になります。

ナクソーのSET®およびCET®技術は、コーティング中のガスプラズマ源としても使用されます。工具用のM型PVDコーティング装置では、SET®とCET®の技術により工具コーティングの硬度を30%以上向上させることができます。部品用モデルPECVDコーティング装置では、SET®およびCET®技術がC2H2、CH4、SiH4などの入口ガスをさらにイオン化し、DLCコーティングの結晶化と高硬度化を実現します。

コンポーネント用PECVD DLCコーティング装置