産業用アップグレード装置

産業高度化における知的リーダーシップ

PシリーズDLC真空成膜装置

製品とプロジェクト

Naxau P-Series PVD真空蒸着装置は、CVC（Continuously Variable Cathode）とUFC（Ultra Fine Cathode）アークカソードのキーテクノロジーを特徴とするNaxau SPARKプラットフォーム上に設計されています。
柔軟性が高く、業界で最も信頼性の高い生産出力の1つです。1台の装置で複数のプラズマ技術を複合可能

APCアーク技術に基づく
SETエッチング技術
多層ナノコンポジット構造コーティングのめっき速度の向上

ブラック装飾コーティング, DLCコーティング, 断熱コーティング, PeCVDコーティング装置, 自己潤滑性コーティング

高度にカスタマイズ可能なDLCメンブレンシステム - 調整可能なパラメータ

自然界で最も硬い物質はダイヤモンド（sp3結合）であり、グラファイト（sp2結合）は最も柔らかい物質の一つである。DLCはsp3結合とsp2結合が混在したダイヤモンド状のアモルファスカーボン基材であり、SP3結合が多いほどDLCは硬くなり、その反対は柔らかくなる。DLCコーティングは通常、高硬度、自己潤滑性、耐食性、絶縁性、光吸収性などの作業条件に使用される。より多様な機能要求を実現するために、Si、F、B、W、Taなどの他の元素をドーピングすることで、超潤滑、耐高温性、付着防止、応力低減など、さまざまな目的を実現することができる。

Pシリーズスパッタリング装置

家電製品

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接着性を飛躍的に向上させるデュアル・エッチング・テクノロジー。

20年以上にわたる継続的な運用と改良に基づき、Naxauはプラズマエッチング技術SETとCETを開発しました。コーティングを成功させるためには、コーティング前にツール表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングでは、金属酸化物、水蒸気、マイクロオイル、汗屑などの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングは表面を再活性化し、分子鎖を開いてコーティングプロセス中にイオン結合を誘発します。