MシリーズPVDコーティングシステム - Naxau PVDコーティングと真空コーティング装置

次世代の陰極アーク技術

モデルMは、特許取得済みのCVC®およびUFC®アークカソード技術を備えたNaxau SPARK®プラットフォームに基づいて設計されています。SPARK®プラットフォームは、業界で最も信頼性の高い生産量と高い柔軟性を持っています。複数のプラズマ技術を1台の装置で組み合わせることができます。

カテゴリー 真空コーティング装置タグカッター工具用コーティング, 金型コーティング, スパッタリングと陰極アーク

その主な特長は、コーティング性能を犠牲にすることなく、高速サイクルタイム、簡単な操作性、使いやすさを低価格で実現したことです。ARC技術を利用した2つの回転カソードを持つこの装置は、厳選されたナクソー・シグネチャー・コーティングを一貫して高い品質で成膜します。これからコーティングの世界に参入されるお客様や、少量生産が可能な高速PVD装置を導入されたいお客様に最適です。

利点がある：

ターゲット使用率の向上（最大30%）
磁場システムが強化され、成膜速度が向上
迅速なカソード交換

エッチング技術が応用されている：

側方グロー放電
アルゴンによるプラズマエッチング、グロー放電
金属イオンエッチング（Ti、Cr）

負荷とサイクル時間：

最大塗布量[mm]：φ68×H800
定義されたコーティング厚さでの最大コーティング高さ：800mm
最大荷重800kg
3～4バッチ/日

モジュール式カルーセルシステム：

デュアルローテーション・キッカー・カルーセルまたはトリプルローテーション・ギアボックス・システム

ソフトウェア：

簡単な使用とメンテナンス
タッチスクリーンを備えた最新の制御システム
プロセスパラメータとフローのデータ記録とリアルタイム表示
手動および自動プロセス制御
遠隔診断とメンテナンス

マシンの寸法：

フットプリント[mm]：長さ4545×幅2200×高さ2522

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Naxau MX850 PVDコーティングシステム-PDF

Mモデル	M450	M600
プラズマゾーン（mm）	D680x450	D680x600
最大荷重 (kg)	300	500
PVD技術	CVCまたはUFC	CVC®またはUFC
エッチング技術	SET®またはCET	SET®またはCET
コーティング可能	工具用コーティング	工具用コーティング
デュラ・テクノロジー	リクエストにより可能	リクエストにより可能
カソード数	6	10
最小表面粗さ（Ra）	Ra0.05（UFC®を装備する必要がある）	Ra0.05（UFC®を装備する必要がある）
床面積 DWH (mm)	4600x2300x2000	4600x2300x2000

Mシリーズ PVDコーティングシステム