Naxau PVD真空蒸着装置の利点

Naxau P/MシリーズPVD真空コーティング装置は、カスタマイズ可能なコーティングソリューションで高い柔軟性を持ち、ほとんどの中高級切削工具と金型コーティングのニーズを満たします。この装置は、5Gやインテリジェント化などの新しい材料やアプリケーションの需要に対応するために、継続的にアップグレードすることができます。

IETプラズマ・エッチング・システム

IETプラズマ・クリーニング・システムは、0.25um/hのエッチング速度で、有効領域内のコーティングの均一なエッチングを保証する。

SPARK 低液滴テクノロジー

先進のSPARKテクノロジーは、コーティング液滴を効果的に減少させ、単層、多層、ナノ層コーティング製造のニーズを満たします。

ソフトウェアによるハードウェア高速化、運用コストの削減

ソフトウェアとハードウェアの高速化により運転コストを削減し、3μmのTiAlNを完成させるのにかかる参考コーティング時間は5時間未満である。同装置は、ワンボタン操作、複数種類の治具、磁気浮上式分子ポンプ、2組のIET洗浄システム、高出力ヒーター、アークカソード、流量計、専用制御システムなどの利点を備え、従来の切削工具や金型の高効率加工を可能にする。同装置は、磁気浮上式分子ポンプにより真空度を維持し、最大電流250A、ハイパワーヒーター8台、総電力48KW。8～10個のアークカソードにより、コーティング成膜速度が大幅に向上する。4組の流量計と専用制御システムにより生産効率を確保し、窒素ガスと温度調整可能な高純度冷却水を使用して、大型ワークのデュアルサイクル急速冷却を実現しています。