産業用アップグレード装置
産業高度化における知的リーダーシップ

C400 多機能複合真空コーティング機
C400シリーズ カスタマイズ真空コーティングシステム
C400多機能複合PVDイオンコーターは、マルチアークイオンソース蒸発源4セット(ターゲット直径160mm)、マルチマグネトロンスパッタリングソース2セット、多機能蒸発源1セット(オプション)を備えた実験的薄膜コーティング用の物理蒸着真空コーティング装置です。C400は、さまざまな純金属または合金のターゲットを同時に取り付け、幅広い工業製品に単層および多層の薄膜をコーティングすることができます。工具コーティングや機能性コーティングなどの用途:表面改質(物理的、化学的、機械的、光学的、クロマチックなど)を目的とした切削工具、金型、パンチ、各種重要部品(自動車、航空宇宙、海洋、軍事、その他の機器)。
- スパッタリング、マルチアーク複合コーティングプロセス;DLC、アモルファス、多層膜を含む複雑なコーティングシリーズが実現可能
- 塗装プロセスのカスタマイズ開発のためのインテリジェントなホストコンピュータ制御システム
- ナニーエスコートサービス、コーティングセンター運営の問題をワンストップで解決
C400はCシリーズ用にストックされているカスタマイズユニットです。HIPIMSとDLC機能は標準構成に含まれていません。C400PVD多機能コーティング機の価格は以下のように構成されています:C400 PVD多機能コーティング機の価格は次のように構成されています:C400カスタマイズされたコーティング機、ターンキーツールキット(コーティングセンター工場建設パッケージ、機器の包装、輸送、設置、試運転、およびトレーニング)、カスタマイズされたコーティングプロセス、オプションの要件に応じて。
説明
装置の主なパラメータと動作条件
- 占有面積L4000×W2740×H2200mm
- コーティング有効面積:φ680*H400
- マシン全体のパワー:実働50kw
- 冷却水:純水、PH値6.5-8
- 圧縮空気:定格圧力0.6Mpa以上
- プロセスガスAr、H2、N2、C2H2など
- 機器の動作環境:温度15 ℃ -25 ℃、湿度≤ 70%
真空仕様(コールド、エンプティ、クリーン)
- 究極の真空度:8×10-4Pa
- ポンピング速度:≤20分
- 圧力上昇率:≤0.8Pa/時間
- 加熱温度500℃
- 電気制御システム:PLC のフル オートマチック制御

アークソースのコアテクノロジーを熟知 - 高度なカスタマイズが可能
調整可能な磁場設計により、ターゲットの高い利用率を保証。アークスポット走行速度が速く、アークスポットが小さく、解離速度が速く、液滴が小さく、低融点ターゲットの解離に適しています。
ラミネーターの利点
- ドロップレットフリーハイライトアーク、ヒムス、JVDハイパワーなど様々な最先端技術。
- 多成分、多構造、アモルファス、その他のコーティングシステムの成膜
- 複数のコーティング技術を組み合わせることができる
- 高成膜レート、高膜厚均一性、低コーティング欠陥
接着性を飛躍的に向上させるデュアルエッチング技術:
20年以上にわたる継続的な運用と改良に基づき、Naxauはプラズマエッチング技術SETとCETを開発しました。コーティングを成功させるためには、コーティング前にツール表面を適切にエッチングし、クリーンで活性化された界面を得ることが重要です。エッチングでは、金属酸化物、水蒸気、マイクロオイル、汗屑などの表面汚染物質を除去する必要があります。また、エッチングは表面を再活性化し、分子鎖を開いてコーティングプロセス中にイオン結合を誘発します。

風力発電ベアリング・プロジェクト
風力発電用軸受プロジェクト 産学研究協力
2022年、ナクソーは風力タービンのベアリング用PeCVD自己潤滑コーティングコーターの初納入に成功し、風力タービンの寿命を大幅に向上させ、メンテナンスコストを削減しました。ナクソーは、中国のグリーン電力事業の持続可能な発展に貢献しています。
- DLC耐荷重自己潤滑コーティングシリーズ
- DLC、ta-C、Mo含有超潤滑シリーズ、シリコンドープコーティングなど。
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組織的協力
制度的協力 成果の転換
2023年10月31日、ナクソーは国家高性能工具重点実験室(広東理工大学)から2つのナノ硬質コーティングの譲渡を引き受け、120万人民元の権利譲渡実施契約を締結した。さらに、ナクソーはCET/SETサイド・トゥ・サイド・スルー・グロー放電エッチングシステム、CVC無電極磁気制御アークソースシステム、UFC高光アークソースシステムを含む500万元の多機能高性能コーティング装置一式をGDITに寄贈した。
ターンキー・プロジェクト
ターンキー・プロジェクト
真空成膜装置、成膜プロセス、周辺生産設備の提案、人材育成、工場計画、その他成膜工場量産プログラム全般をワンストップで提供。

ナクソーの真空コーティング装置は、業界で最も信頼性の高い生産出力のひとつです。複数のプラズマ蒸着技術を1台の装置で複合化可能