プラズマ電源

Naxau PVDコーティングと真空コーティング設備

コンポーネント＆パーツ

プラズマ電源

プラズマ電源

製品仕様

アイテム
	DC (1Ch)								DC (2Ch)
	エナーストリーム5	エナーストリーム10	エナストリーム10H	エナーストリーム20	エナストリーム20H	エナーストリーム 30	エナストリーム 30H	エナーストリーム60	エナーストリーム5D	エナストリーム10D
インプット	3⌀ 208V/220V/380V	3⌀ 208V/220V/380V	3⌀ 208V/220V/380V	3⌀ 220V 380V	3⌀ 220V 380V	3⌀ 380V/440V	3Φ⌀ 440V	3⌀ 440V	3⌀ 380V	3⌀ 380V
点火電圧	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V
出力	800V、6.25A / 400V、12.5A	800V、12.5A / 400V、25A	1000V、10A / 500V、20A	800V、25A/ 400V、50A	1000V、20A/500V、40A	800V、37.5A / 400V、75A	1200V、25A / 545V、55A	900V、66.6A / 400V、150A	800V、6.25A / 400V、12.5A	800V、12.5A/ 400V、25A
出力	DC 5kW	直流10kW	直流10kW	DC 20kW	DC 20kW	DC 30kW	DC 30kW	DC 60kW	DC 5kW + 5kW	DC 10kW + 10kW
アーク・エネルギー	0.5mJ/kW未満							0.2mJ/kW未満	0.5mJ/kW未満
インターフェース	RS-232/RS-485(オプション：DeviceNet、ProfiBus)
サイズ(mm)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	177(高さ) x 483(幅) x 655(奥行)	177(高さ) x 483(幅) x 655(奥行)	309(高さ) x 483(幅) x 783(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 655(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 655(奥行)
重量(kg)	24.5	24.5	24.5	30.5	30.5	38.8	38.8	80	32	32
冷却	空冷式

ケーブルダクト＋129mm 仕様は予告なく変更する場合があります。

パルス直流波形で最大限の電離を行う

メリット
再点火電圧の変化による電流の急激な増加：700V → 1000V
調整可能な再点火電圧：50V～300V

製品仕様

アイテム	逆ボルテージ固定					逆電圧調整可能			逆電圧固定
アイテム	エナパルス5	エナパルス10	エナパルス 10LV	エナパルス10M	エナパルス20	エナパルス 15N	エナパルス 20N	エナパルス30	パルス 20 (ES20 + PG20)	パルス 30 (ES30 + PG30)	パルス 40 (2 x ES20 + PG40)
インプット	3Φ 208v/220v/380v	3Φ 208v/220v/380v	3Φ 380V	3Φ 380V	3Φ 220v 380v 440v	3Φ 440V	3Φ 220V/ 440V	3Φ 208V/ 440V	3Φ 220V/380V	3Φ 380V/440V	3Φ 220V/380V
点火電圧	1500V	1500V	1500V	1500V	1200V	1200V	1200V	1200V	1500V	1500V	1500V
出力	800V、6.25A / 400V、12.5A	800V、12.5A / 400V、25A	650V、15.4A / 300V、33.A	800V、12.5A/ 400V、50A	650V、30A / 400V、50A	1000V、15A / 500V、40A	900V、22.2A / 500V、40A	900V、33.3A / 400V、75A	800V、25A / 400V、50A	800V、37.5A/ 400V、75A	800V、50A/ 400V、100A
出力	ユニポーラパルス 5kW	ユニポーラパルス 10kW	ユニポーラパルス 10kW	ユニポーラパルス 10kW	ユニポーラパルス 20kW	ユニポーラパルス 15kW	ユニポーラパルス 20kW	ユニポーラパルス 30kW	ユニポーラパルス 20kW	ユニポーラパルス 30kW	ユニポーラパルス 40kW
出力周波数	20 ～ 150 kHz			5 ~ 350 kHz	20～100 kHz	20 ～ 350 kHz	20 ～ 150 kHz		40～100 kHz		40 ～ 80 kHz
リバース・タイム	Dcモード、1.0us～10us				DCモード、1.0us～5us	DCモード、1.0us～8us			DCモード、1.0us～5us
アーク・エネルギー	1mJ/kW未満					0.5mJ/kW未満			1mJ/kW未満
インターフェース	RS-232/RS-485(オプション：DeviceNet、ProfiBus)
サイズ(mm)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	133(高さ) x 483(幅) x 605(奥行)	177(高さ) x 483(幅) x 700(奥行)	177(高さ) x 483(幅) x 782(奥行)	221.25(高さ) x 483(幅) x 700(奥行)	309(高さ) x 483(幅) x 782(奥行)	133(H) x 483(W) x 605(D)_PG	133(H) x 483(W) x 605(D)_PG	133(H) x 483(W) x 605(D)_PG
重量(kg)	29.5	29.5	29.5	29.5	40	42	50	73	28	32	32
冷却	空冷式

ケーブルダクト＋129mm
仕様は予告なく変更する場合があります。

デュアルマグネトロンスパッタリング＆PECVD用バイポーラパルスDC電源装置