ナクソー・PVD/DLC真空コーティング装置-IE
部品 カーボンフィルムコーティング
コンポーネントと部品のDLCコーティングソリューション
ナクソー・カーボンフィルム・コーティングナクソー カーボンフィルムコーティング
ナクソー・カーボンフィルム・コーティング・ウィザード
| タイプ | 素材 | コーティング技術 | 膜厚 um | コーティング硬度 Gpa | 乾燥摩擦係数 | W作動温度 | 蒸着温度 | 申し込み |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CH | a-C:H | リス/PECVD | 1~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <250 | 従来のDLC、エアドライ摩擦自己潤滑性 |
| 慢性閉塞性肺疾患 | a-C:H | リス/PECVD | 1~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <170 | 変形を最小限に抑えた低温成膜を必要とする部品 |
| スイス | a-C:H:W | スパッタ | 1~4 | 10~15 | <0.2 | 250 | <250 | 交互荷重に耐える低応力コーティング |
| CHS | a-C:H:Si | リス/PECVD | 1~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <250 | 湿潤環境 耐腐食性 |
| CRH | CrN/a-C:H | リス/PECVD | 2~5 | 15~25 | <0.2 | 250 | <250 | より高い塗装負荷能力 |
| CTA | タC | アーク | 0.2~2 | >40 | <0.2 | 400 | <200 | 最高のコーティング硬度 硬質材料加工 |
| CA | a-C | アーク | 1~10 | 30~40 | <0.2 | 400 | <200 | 塗膜厚が厚い 寿命が長い |
| CG | GLC | スパッタ | 1~5 | 5~15 | <0.2 | 300 | <200 | 導電率 1mΩ*cm2以下 |
| 制御 | a-C:H/MoS2 | リス／スパッター | 1~5 | 5~20 | <0.1 | -160 | <170 | 低温、真空、窒素 超低摩擦 |
透明硬質保護フィルム | Ta-Cダイヤモンドフィルム
透明硬質保護フィルム
DLCコーティングとTa-Cコーティングの性能比較
DLCとTa-Cの特性比較
DLCは従来の水素含有炭素膜の総称で、通常SP2結合が主体で、厚膜は1～5μmで、空気乾式摩擦によく使われる。また、ta-CはSP3結合が主体で、硬度は4500～7500HV、厚膜は通常1μm以下で、七色のまばゆい色を示す。20nm近辺では、90%以上の可視光帯域の透明性まで実現でき、マイクロダイヤモンドなどの超薄膜超硬質保護膜によく使用される。
薄刃カッター用Ta-Cコーティング
カスタマイズ性の高いカーボンフィルムシリーズ
DLCは高度にカスタマイズ可能な膜システムであり、膜の格子構造、元素レファレンス、コーティングプロセスを変更することにより、8μmの超厚膜DLCやta-C（硬度は通常3500HV以下に低下）のような異なる特性を持つ炭素膜を実現することができる。また、0.05以下の超潤滑DLCや、Fを用いた超疎水DLC、シリコンなどを用いた耐熱温度450°の高温DLCを実現できるものもある。
ナクソー・コーティングスR&Dセンターは、SP2結合とSP3結合からなるハイブリダイゼーション、および元素ドープフィルムシステムをカスタム開発することができます。
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