什么是真空镀膜设备

什么是真空镀膜设备？ #

真空镀膜设备主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜，种类很多，包括真空离子蒸发，磁控溅射，分子束外延，激光溅射沉积等。

需要镀膜的成为基材，需要镀膜的材料成为靶材。

一般而言，蒸发镀膜是通过加热靶材使用表面成分以原子或团离子形式蒸发，并沉淀在基板表面，通过成膜工（散射岛结构散杂结构层生长）形成薄膜。

真空镀膜设备使用流程 #

1 电控柜的操作 #

1）水泵、气源

2) 打开主电源

3) 打开维修泵和真空计的电源，真空计的v1，位置等待数值小于10，然后进入下一步操作大约需要5分钟。

4）打开机械泵，预抽，涡轮分子泵通电，开机，真空表开关切换到v2位置，抽到小于2，约20分钟。

5）涡轮分子泵读数达到250后，关闭预抽，打开前置单元和高位阀继续抽選真空，抽選真空到一定程度后，右侧高真空表才能打开，观察真空度，当真空度达到2×10-3时，即可开机。

2 关机顺序

1）关闭高真空计和分子泵。

2）当分子泵显示到50时，依关闭高位阀，前级和机械泵，大约需要40分钟。

3）当低于50时，再次关闭维护ۅ。

真空镀膜设备应用范围 #

• 数控刀：各类铣刀、丝锥、钻头、滚齿刀、拉刀、刀片、模切刀
• 各类模具：冲压模具、成型模具、压ै模具等
• 精密零件：各类传动，耐磨等精密零件，不增加工件尺寸
• 功能膜：医疗灭菌、绝缘及导电、高温防氧化等、不增加工件尺寸或有耐磨要求
• 建筑五金：卫浴五金（如水龙头）、门锁、门把手、卫浴、门锁、五金合页、家具等。
• 制表业：可用于表壳和表带的涂层和水晶制品。
• 其他五金：皮革五金、不锈钢餐具、眼镜架、刀具、模具等。
• 大型工件：汽车轮毂、不锈钢板、招牌、雕塑等。
• 不锈钢管材和板材（各种表面）
• 家具、具灯、酒店电器
• 锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、血液等五金制品均均镀有超硬装饰膜。
• 眼镜、首饰等饰品镀有超耐磨装饰（金银）纳米膜、纳米膜和纳米复合膜。

维护保养方法 #

真空镀膜设备每完成200次镀膜工序，需要对工作室进行一次清扫。定期对各类传感设备，仪器仪表，真空ۅ校准，密封圈，电阻丝等耗材更换。