Fuente de alimentación de plasma

Naxau PVD Coating y equipos de recubrimiento al vacío

Componentes y piezas

Fuente de alimentación de plasma

Fuente de alimentación de plasma

Especificaciones del producto

Artículos
	DC (1Ch)								DC (2Ch)
	EnerStream 5	EnerStream 10	EnerStream 10H	EnerStream 20	EnerStream 20H	EnerStream 30	EnerStream 30H	EnerStream 60	EnerStream 5D	EnerStream 10D
Entrada	3⌀ 208V/ 220V/ 380V	3⌀ 208V/ 220V/ 380V	3⌀ 208V/ 220V/ 380V	3⌀ 220V/ 380V	3⌀ 220V/ 380V	3⌀ 380V/ 440V	3Φ⌀ 440V	3⌀ 440V	3⌀ 380V	3⌀ 380V
Tensión de encendido	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V
Salida	800V, 6,25A / 400V, 12,5A	800V, 12,5A / 400V, 25A	1000V, 10A / 500V, 20A	800V, 25A/ 400V, 50A	1000V, 20A / 500V, 40A	800V, 37,5A / 400V, 75A	1200V, 25A / 545V, 55A	900V, 66,6A / 400V, 150A	800V, 6,25A / 400V, 12,5A	800V, 12,5A/ 400V, 25A
Potencia de salida	CC 5kW	CC 10 kW	CC 10 kW	CC 20 kW	CC 20 kW	CC 30 kW	CC 30 kW	CC 60 kW	CC 5kW + 5kW	CC 10kW + 10kW
Energía del Arco	Menos de 0,5mJ/kW							Menos de 0,2mJ/kW	Menos de 0,5mJ/kW
Interfaz	RS-232 / RS-485(Opción: DeviceNet, ProfiBus)
Tamaño (mm)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	177(alto) x 483(ancho) x 655(fondo)	177(alto) x 483(ancho) x 655(fondo)	309(alto) x 483(ancho) x 783(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 655(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 655(fondo)
Peso (kg)	24.5	24.5	24.5	30.5	30.5	38.8	38.8	80	32	32
Refrigeración	Refrigeración por aire

※ Conducto para cables + 129mm ※ Especificaciones sujetas a cambios sin previo aviso

Forma de onda de CC pulsada para maximizar la desionización

Beneficios
Aumento rápido de la corriente inducido por el cambio de la tensión de reencendido : 700V → 1000V.
Tensión de reignición ajustable : 50V ~ 300V

Especificaciones del producto

Artículos	Boltage inverso Fijo					Tensión inversa ajustable			Tensión inversa fija
Artículos	EnerPulse 5	EnerPulse 10	EnerPulse 10LV	EnerPulse 10M	EnerPulse 20	EnerPulse 15N	EnerPulse 20N	EnerPulse 30	Pulso 20 (ES20 + PG20)	Pulso 30 (ES30 + PG30)	Pulso 40 (2 x ES20 + PG40)
Entrada	3Φ 208V/ 220V/ 380V	3Φ 208V/ 220V/ 380V	3Φ 380V	3Φ 380V	3Φ 220V/ 380V/ 440V	3Φ 440V	3Φ 220V/ 440V	3Φ 208V/ 440V	3Φ 220V/ 380V	3Φ 380V/ 440V	3Φ 220V/ 380V
Tensión de encendido	1500V	1500V	1500V	1500V	1200V	1200V	1200V	1200V	1500V	1500V	1500V
Salida	800V, 6,25A / 400V, 12,5A	800V, 12,5A / 400V, 25A	650V, 15,4A / 300V, 33.A	800V, 12,5A/ 400V, 50A	650V, 30A / 400V, 50A	1000V, 15A / 500V, 40A	900V, 22,2A / 500V, 40A	900V, 33,3A / 400V, 75A	800V, 25A / 400V, 50A	800V, 37,5A/ 400V, 75A	800V, 50A/ 400V, 100A
Potencia de salida	Pulso unipolar 5kW	Impulso unipolar 10kW	Impulso unipolar 10kW	Impulso unipolar 10kW	Impulso unipolar 20kW	Impulso unipolar 15kW	Impulso unipolar 20kW	Impulso unipolar 30kW	Impulso unipolar 20kW	Impulso unipolar 30kW	Impulso unipolar 40kW
Frecuencia de salida	20 ~ 150 kHz			5 ~ 350 kHz	20 ~ 100 kHz	20 ~ 350 kHz	20 ~ 150 kHz		40 ~ 100 kHz		40 ~ 80 kHz
Tiempo inverso	Modo DC, 1.0us ~ 10us				Modo CC, 1,0us ~ 5us	Modo CC, 1,0us ~ 8us			Modo CC, 1,0us ~ 5us
Energía del Arco	Menos de 1mJ/kW					Menos de 0,5mJ/kW			Menos de 1mJ/kW
Interfaz	RS-232 / RS-485(Opción: DeviceNet, ProfiBus)
Tamaño (mm)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)	177(alto) x 483(ancho) x 700(fondo)	177(alto) x 483(ancho) x 782(fondo)	221,25(alto) x 483(ancho) x 700(fondo)	309(alto) x 483(ancho) x 782(fondo)	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)_PG	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)_PG	133(alto) x 483(ancho) x 605(fondo)_PG
Peso (kg)	29.5	29.5	29.5	29.5	40	42	50	73	28	32	32
Refrigeración	Refrigeración por aire

※ Conducto para cables + 129mm
※ Especificaciones sujetas a cambios sin previo aviso.

Fuente de alimentación de CC pulsada bipolar para sputtering de magnetrón dual y PECVD