Reaktivgas-Kontrollsystem

FloTron

FloTron™ überwacht den Plasmastatus in der Vakuumkammer in-situ und steuert das reaktive Gas, um den Prozess zu stabilisieren, falls ein instabiler Status auftritt.

Die präzise Plasmaanalyse und die Prozessinformationen werden schnell ausgeführt und ermöglichen eine stabile Massenproduktion durch einen zuverlässigen und präzisen Kontrollmechanismus.

Warum FloTron™

| Geprüftes Kontrollsystem

FloTron™-Hardware und -Software sind für die reale Industrieumgebung und -prozesse optimiert, die sehr robust und stabil sind.
FloTron™ überwacht den Zustand der Vakuumkammer und des Plasmas, was den Prozessablauf sehr schnell und kontrollierbar macht.

| Technische Unterstützung

Wir bieten Beratungsleistungen an, die das Prozess-Know-how und die Technologien beinhalten und dem Kunden helfen, den Coater stabil zu betreiben und den gewünschten Prozess zu optimieren.

Vorteil

Präzise Plasmakontrolle und Prozessoptimierung.
Erhöhen Sie die Produktivität und die Zielauslastung, was dem Kunden zu niedrigeren Betriebs- und Produktionskosten verhilft.
Minimierung der Lichtbogenbildung während des Prozesses.
Stabile Plasmaerzeugung.

Eigenschaften

3, 5, 7 Kanäle verfügbar, um verschiedene Kundenanforderungen zu erfüllen
Gute Kombination von Sensor und Aktor
Protokollierung von Prozessdaten verfügbar
Verschiedene Schnittstellen verfügbar: Digital, Analog, PROFIBUS, PROFINET, EtherNet / IP
Fernsteuerung verfügbar

FloTron™ Spezifikation

FloTron™ Systemgröße	3	5	9
Ausgangsports	3	5	9
Ausgangsports	(jede bietet Strom (+/- 15V oder 24V), analoge (0-5V/0-10V), digitale (TTL) und Kommunikationsschnittstellen)
Analoge Eingänge (BNC): 0-5 oder 0-10 VDC; [optional] 4-20 mA DC	4	4	2 bis 4
Optionale Eingänge (SMA 905): 'PNT + Filter'	bis zu 1	bis zu 3	bis zu 5
- Spektralbereich und Auflösung	200-900 nm/ 10 nm
Optische Eingänge (SMA 905): 2B-PEM®	1	1-4 (oder maßgeschneidert)	1-4 (oder maßgeschneidert)
- Spektralbereich und Auflösung	200-1040 nm/ 0,15-6 nm (mehrere Optionen verfügbar)
Fernsteuerung und Statusanzeige: digitale Eingänge/Ausgänge (TTL)	3	5	9
Steuerungsalgorithmen	3 proprietär: PID, PDF, EPD
Strom	Externes Netzteil mit 120 W (max.). Breite Netzeingangsspannung 100-240VAC, 50-60Hz, 1,5A
GUI-Kompatibilität	Windows 8 oder 10. Erfordert Java Runtime Environment 8 (JRE 8)
GUI-Computeranforderungen	[min] CPU: Dual-Core i3, 3Ghz, RAM: 4GB, OS:32 oder 64 bit Windows 8 oder höher, VGA-Adapter: beliebig [optimal] CPU: Quad-Core i7, 3,5Hz, RAM: 16GB, OS: 64-Bit-Windows 8 oder höher. VGA-Adapter: GeForce 8 und 100 Serie oder höher