Plasma-Stromversorgung

Naxau PVD-Beschichtungsanlagen und Vakuumbeschichtungsanlagen

Bauteil & Teile

Plasma-Stromversorgung

Plasma-Stromversorgung

Produktspezifikationen

Artikel
	DC (1Ch)								DC (2Ch)
	EnerStream 5	EnerStream 10	EnerStream 10H	EnerStream 20	EnerStream 20H	EnerStream 30	EnerStream 30H	EnerStream 60	EnerStream 5D	EnerStream 10D
Eingabe	3⌀ 208V/ 220V/ 380V	3⌀ 208V/ 220V/ 380V	3⌀ 208V/ 220V/ 380V	3⌀ 220V/ 380V	3⌀ 220V/ 380V	3⌀ 380V/ 440V	3Φ⌀ 440V	3⌀ 440V	3⌀ 380V	3⌀ 380V
lgnition Spannung	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V	1500V
Ausgabe	800V, 6,25A / 400V, 12,5A	800V, 12,5A / 400V, 25A	1000V, 10A / 500V, 20A	800V, 25A/ 400V, 50A	1000V, 20A / 500V, 40A	800V, 37,5A / 400V, 75A	1200V, 25A / 545V, 55A	900V, 66,6A / 400V, 150A	800V, 6,25A / 400V, 12,5A	800V, 12,5A/ 400V, 25A
Ausgangsleistung	DC 5kW	DC 10kW	DC 10kW	DC 20kW	DC 20kW	DC 30kW	DC 30kW	DC 60kW	DC 5kW + 5kW	DC 10kW + 10kW
Lichtbogen-Energie	Weniger als 0,5mJ/kW							Weniger als 0,2mJ/kW	Weniger als 0,5mJ/kW
Schnittstelle	RS-232 / RS-485(Option: DeviceNet, ProfiBus)
Größe (mm)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	177(H) x 483(B) x 655(T)	177(H) x 483(B) x 655(T)	309(H) x 483(B) x 783(T)	133(H) x 483(B) x 655(T)	133(H) x 483(B) x 655(T)
Gewicht(kg)	24.5	24.5	24.5	30.5	30.5	38.8	38.8	80	32	32
Kühlung	Luftgekühlt

※ Kabelkanal + 129mm ※ Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden

Gepulste DC-Wellenform zur Maximierung der Dionisierung

Vorteile
Schneller Anstieg des Stroms durch Änderung der Zündspannung: 700V → 1000V
Einstellbare Wiederzündspannung: 50V ~ 300V

Produktspezifikationen

Artikel	Umgekehrte Boltage Fest					Rückwärtsspannung einstellbar			Rückwärtsspannung fest
Artikel	EnerPulse 5	EnerPulse 10	EnerPulse 10LV	EnerPulse 10M	EnerPulse 20	EnerPulse 15N	EnerPulse 20N	EnerPulse 30	Impuls 20 (ES20 + PG20)	Impuls 30 (ES30 + PG30)	Impuls 40 (2 x ES20 + PG40)
Eingabe	3Φ 208V/ 220V/ 380V	3Φ 208V/ 220V/ 380V	3Φ 380V	3Φ 380V	3Φ 220V/ 380V/ 440V	3Φ 440V	3Φ 220V/ 440V	3Φ 208V/ 440V	3Φ 220V/ 380V	3Φ 380V/ 440V	3Φ 220V/ 380V
lgnition Spannung	1500V	1500V	1500V	1500V	1200V	1200V	1200V	1200V	1500V	1500V	1500V
Ausgabe	800V, 6,25A / 400V, 12,5A	800V, 12,5A / 400V, 25A	650V, 15.4A / 300V, 33.A	800V, 12,5A/ 400V, 50A	650V, 30A / 400V, 50A	1000V, 15A / 500V, 40A	900V, 22,2A / 500V, 40A	900V, 33,3A / 400V, 75A	800V, 25A / 400V, 50A	800V, 37,5A/ 400V, 75A	800V, 50A/ 400V, 100A
Ausgangsleistung	Unipolarer Impuls 5kW	Unipolarer Impuls 10kW	Unipolarer Impuls 10kW	Unipolarer Impuls 10kW	Unipolarer Impuls 20kW	Unipolarer Impuls 15kW	Unipolarer Impuls 20kW	Unipolarer Impuls 30kW	Unipolarer Impuls 20kW	Unipolarer Impuls 30kW	Unipolarer Impuls 40kW
Ausgangsfrequenz	20 ~ 150 kHz			5 ~ 350 kHz	20 ~ 100 kHz	20 ~ 350 kHz	20 ~ 150 kHz		40 ~ 100 kHz		40 ~ 80 kHz
Zeit zurückdrehen	Dc-Modus, 1,0us ~ 10us				DC-Modus, 1,0us ~ 5us	DC-Modus, 1,0us ~ 8us			DC-Modus, 1,0us ~ 5us
Lichtbogen-Energie	Weniger als 1mJ/kW					Weniger als 0,5mJ/kW			Weniger als 1mJ/kW
Schnittstelle	RS-232 / RS-485(Option: DeviceNet, ProfiBus)
Größe (mm)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)	177(H) x 483(B) x 700(T)	177(H) x 483(B) x 782(T)	221,25(H) x 483(B) x 700(T)	309(H) x 483(B) x 782(T)	133(H) x 483(B) x 605(T)_PG	133(H) x 483(B) x 605(T)_PG	133(H) x 483(B) x 605(T)_PG
Gewicht(kg)	29.5	29.5	29.5	29.5	40	42	50	73	28	32	32
Kühlung	Luftgekühlt

※ Kabelkanal + 129mm
※ Änderungen der Spezifikationen ohne Vorankündigung vorbehalten

Bipolar gepulste DC-Stromversorgungen für Dual Magnetron Sputtering & PECVD