مصدر البلازما

كاثود الاخرق المغنطروني

المزايا

ترسيب ديناميكي عالٍ
معدل (DDR)
الاستخدام المستهدف العالي
التوحيد الأمثل
سهولة الصيانة

القوس الكاثود

طلاء DLC
تصفيح القوس الأيوني

كاثود القوس الخطي
كاثود القوس الدائري

القوس الكاثود القوسي هو مكون رئيسي لنظام الطلاء بالأيونات القوسية ونظام الطلاء بالأيونات القوسية. إنه قادر على تحسين وتعظيم الاستفادة من الهدف والقدرة على الإنتاج مع التصميم الأمثل. تنفذ Naxau محاكاة المجال المغناطيسي والتصميم وما إلى ذلك من أجل توفير الحل الأمثل للعميل.

المصدر الأيوني

المعالجة المسبقة
المساعدة
DLC

المصدر الأيوني الخطي

ويُعد المصدر الأيوني مكونًا رئيسيًا في عملية شق البلازما، حيث يعمل على تسريع وصول الأيونات إلى الركائز مما يؤدي إلى تفاعل فيزيائي/كيميائي لتنشيط سطح الركيزة لتحسين الالتصاق.
توفر Naxau الحل المخصص المطلوب للمعالجة المسبقة للأسطح من خلال تصميمها الخاص.

مصدر بلازما الترددات الراديوية المقارن المقارن المقارن المتردد

PECVD
PVD
مقاومة الحفر المقاوم
التنظيف والتفعيل
PALD - Assist

المصدر المستدير
المصدر الخطي
مصدر الخاتم
مدمج في المصدر